ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Низковакуумный насос - Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума.

Высоковакуумный насос - Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов.

Форвакуумный насос - Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки.

Бустерный вакуумный насос - Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса.

Вакуумный насос предварительного разрежения - Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов.

ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

Газоперекачивающий вакуумный насос - Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля.

Механический вакуумный насос - Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса.

Вакуумный насос объемного действия - Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу.

Поршневой вакуумный насос - Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня.

Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением - Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость.

Газобалластный вакуумный насос - Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе.

Вакуумный насос с сухим уплотнителем - Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения. К таким насосам относятся все вакууумные насосы, производства компании Ebara, итальянские насосы DVP серий S и Z, мембранные насосы Ilmvac.

Вращательный вакуумный насос - Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора.

Пластинчато-роторный вакуумный насос - Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом. Представителями данного типа насосов вляются машины серий S, L, D и R, производящиеся компанией DVP Vacuum Technology (Италия).

Пластинчато-статорный вакуумный насос - Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом.

Плунжерный вакуумный насос – Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора.

Жидкостно-кольцевой вакуумный насос - Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом. Классический, и в тоже время один из наиболее продвинутых в техническом плане, представитель данного класса насосов это вакуумный насос серии RVS, выпускаемой компанией Robuschi (Италия). В качестве рабочей жидкости в этих вакуумных насосах чаще всего используется вода, но в зависимости от требований технологического процесса может применяться масло, тосол и даже некоторые виды кислот и щелочей (в химической промышлнности).

Двухроторный вакуумный насос - Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях.

Трохоидный вакуумный насос - Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды.

Кинетический вакуумный насос - Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса.

Вакуумный турбонасос – Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей.

Осевой вакуумный турбонасос - Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения.

Центробежный вакуумный турбонасос - Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении.

Струйный вакуумный насос - Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа.

Жидкостно-струйный вакуумный насос - Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости.

Газоструйный вакуумный насос - Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа.

Пароструйный вакуумный насос - Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара.

Эжекторный вакуумный насос - Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей.

Диффузионный вакуумный насос - Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю.

Диффузионно-эжекторный вакуумный насос - Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей.

Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос - Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу.

Фракционный диффузионный вакуумный насос - Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара.

Ионный вакуумный насос - Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля.
ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

Газоулавливающий вакуумный насос - Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса.

Сорбционный вакуумный насос - Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа.

Адсорбционный вакуумный насос - Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре.

Геттерный вакуумный насос - Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером.

Испарительный геттерный вакуумный насос - Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера.

Геттерно-ионный вакуумный насос - Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера.

Испарительно-ионный вакуумный насос - Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения.

Магнитный электроразрядный вакуумный насос - Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле.

Конденсационный вакуумный насос - Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях.

Вакуумный крионасос - Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур.

Комбинированный вакуумный насос - Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе.

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Быстрота откачки - Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении.

Быстрота действия вакуумного насоса - Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе.

Наибольшее давление запуска вакуумного насоса - Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать.

Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса - Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку.

Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса - Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия.

Предельное остаточное давление вакуумного насоса - Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе.

Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды - Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях.

Наибольшее допустимое давление паров воды - Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях.

Степень сжатия вакуумного насоса - Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия.